| 機台代號與名稱與所在地 |
管理者
(所屬教授.姓名.email.手機) |
收費公式
(下表為原價 ps.台大電資學院半價) |
訓練T 檢定Q 收費標準
(下表為原價 ps.電資學院半價) |
(1)電子束金屬鍍膜機
E-beam(gun) metal evaporator |
P吳志毅- 張然凱( d99941017@ntu.edu.tw 0973-126081)
P黃建璋- 蔡宗翰( d00941027@ntu.edu.tw 0929-695502)
P吳肇欣- 涂文瓊( gn01987347@hotmail.com 0931-362113) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*24 |
T=1200 Q=1200 |
| (2)氧化物濺鍍機 Oxide Sputter |
P黃建璋- 蘇亮宇( d99941027@ntu.edu.tw 0912-659070) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*60 |
T=1200 Q=1200 |
(3)感應藕荷電漿反應式離子蝕刻機
Metal RIE Metal Reactive Ion Etching system |
P楊志忠- 謝劼( wale1105@gmail.com 0919-789353)
|
T<20min $=1500
T>20min $=1500+(T-20)*60 |
T=1200 Q=1200 |
| (4)真空金屬濺鍍機 Metal Sputter |
P黃建璋- 蘇亮宇( d99941027@ntu.edu.tw 0912-659070) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*60 |
T=1200 Q=1200 |
| (5)膜厚測定儀 Surface Profiler ( 廠牌α-step) |
p黃建璋- 林妍辰( fischen7@gmail.com 0911-552575) |
FREE |
T=600 Q=600 |
(6)電子槍介電質鍍膜機
E-gun Dielectric evaporator |
p黃升龍- 梁堰竣( jim780520@gmail.com 0921-056426) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*24 |
T=1200 Q=1200 |
| (7)光罩對準機 Mask Aligner |
P黃建璋- 陳井一( r00941104@ntu.edu.tw 0922-101750)
周延( r00941017@ntu.edu.tw 0937-207565) |
T<30min $=1200
T>30min $=1200+(T-30)*36 |
T=1200 Q=1200 |
(8)快速升溫退火機RTA
Rapid Thermal Annealing |
P陳奕君- 李至弘( r97543052@ntu.edu.tw 0932-850621) |
T<90min $=200
T>90min $=200+(T-90)/30*100 |
T=600 Q=600 |
(9)325半導體元件量測系統
Semiconductor Measurement System |
P楊志忠- 陳鴻祥 ( d89941006@ntu.edu.tw 0953-837251) |
T<30min $=300
T>30min $=300+(T-30)*12 |
T=600 Q=600 |
| (10)325金線銲線機 wire bonder |
P楊志忠- 陳鴻祥( d89941006@ntu.edu.tw 0953-837251) |
T<30min $=300
T>30min $=300+(T-30)*10 |
T=600 Q=600 |
(11)325霍爾量測儀
Hall effect measurement system |
P楊志忠- 陳浩宗 ( f98941074@ntu.edu.tw 0961-400997) |
T<30min $=300
T>30min $=300+(T-30)*10 |
T=600 Q=600 |
| (12)325太陽能電池測試系統 solar simulator |
P楊志忠- 姚毓峰( f98941073@ntu.edu.tw 0939-243272)
P吳志毅- 張然凱( d99941017@ntu.edu.tw 0973-126081) |
T<100min $=1200
T>100min $=1200+(T-100)*20 |
T=600 Q=600 |
(13)325快速高溫製程處理機台RTP
Rapid Thermal Proceding |
P楊志忠- 陳鴻祥( d89941006@ntu.edu.tw 0953-837251) |
T<90min $=400
T>90min $=400+(T-90)/30*200 |
T=600 Q=600 |
| 兩段式旋轉塗佈機 Spin Coater |
p黃建璋- 蘇亮宇( d99941027@ntu.edu.tw 0912-659070) |
FREE |
T=600 Q=600 |
| 紫外光臭氧清潔機 UV Ozone Cleaning System |
P黃建璋- 周延( r00941017@ntu.edu.tw 0937-207565) |
FREE |
T=600 Q=600 |
| 黃光室顯微鏡 |
p黃建璋- 陳永璨( d00941031@ntu.edu.tw 0911-701386) |
FREE |
FREE |
| 抽屜式UV燈箱 |
P黃建璋- 陳井一( r00941104@ntu.edu.tw 0922-101750 )
|
FREE |
FREE |