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機台代號與名稱與所在地
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管理者
(所屬教授.姓名.email.手機)
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收費公式
(下表為原價? ps.台大電資學院半價)
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訓練T 檢定Q 收費標準
(下表為原價? ps.電資學院半價)
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(1)電子束金屬鍍膜機
E-beam(gun) metal evaporator
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P吳志毅- 黃國祐( d01941032@ntu.edu.tw 0910-358266)
P黃建璋- 張鎮宇( r02941065@ntu.edu.tw 0975-137600)
P吳肇欣- 吳承翰( r01941018@ntu.edu.tw 0988-796821)
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T<150min?? $=3000
T>150min?? $=3000+(T-150)*30
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T=1200?? Q=1200
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(2)氧化物濺鍍機
Oxide Sputter?
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P黃建璋- 王怡文( r02941018@ntu.edu.tw? 0939-873058)
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T<180min?? $=3600
T>180min?? $=3600+(T-180)*30
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T=1200?? Q=1200
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(3)感應藕荷電漿反應式離子蝕刻機
ICP RIE?? Metal Reactive Ion Etching system
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P楊志忠- 謝劼( wale1105@gmail.com? 0919-789353)
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T<60min?? $=2400
T>60min?? $=2400+(T-60)*50
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T=1200?? Q=1200
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(4)
325
真空金屬濺鍍機
Metal Sputter
?
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P黃建璋- 王怡文( r02941018@ntu.edu.tw? 0939-873058)
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T<150min?? $=3000
T>150min?? $=3000+(T-150)*30
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T=1200?? Q=1200
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(5)膜厚測定儀
Surface Profiler
( 廠牌α-step)
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P黃建璋- 王致皓( r02941015@ntu.edu.tw? 0937-516978 )
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FREE
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T=600???? Q=600
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(6)電子槍介電質鍍膜機
?
E-gun Dielectric evaporator
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P黃升龍- 陳勝峰( r01941020@ntu.edu.tw? 0919-385519)
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T<90min?? $=2080
T>90min?? $=2080+(T-90)*24
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T=1200?? Q=1200
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(7)光罩對準機
Mask Aligner
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P黃建璋- 尹煜峰( f99941063@ntu.edu.tw? 0963-250060 )
??????????????? 許晏翔( r01941117@ntu.edu.tw? 0922-8496652)?
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T<30min?? $=1200
T>30min?? $=1200+(T-30)*36
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T=1200?? Q=1200
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(8)快速升溫退火機
RTA
?Rapid Thermal Annealing
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P陳奕君- 李至弘( d99543012@ntu.edu.tw? 0932-850621)
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T<90min?? $=200
T>90min?? $=200+(T-90)/30*100
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T=600???? Q=600
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(9)
325
半導體元件量測系統
Semiconductor Measurement System
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P楊志忠- 陳鴻祥 ( d89941006@ntu.edu.tw? 0953-837251)
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T<30min?? $=300
T>30min?? $=300+(T-30)*12
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T=600???? Q=600
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(10)
325
金線銲線機
wire bonder
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P楊志忠- 陳鴻祥( d89941006@ntu.edu.tw? 0953-837251)
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T<30min?? $=300
T>30min?? $=300+(T-30)*10
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T=600???? Q=600
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(11)
325
霍爾量測儀
Hall effect measurement system
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P楊志忠- 陳浩宗 ( f98941074@ntu.edu.tw? 0961-400997)
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T<30min?? $=300
T>30min?? $=300+(T-30)*10
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T=600???? Q=600
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(12)
325
太陽能電池測試系統
?
solar simulator
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P陳奕君- 周家筠( b97505019@ntu.edu.tw? 0912-255413)
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T<100min?? $=1200
T>100min?? $=1200+(T-100)*20
???
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T=600???? Q=600
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(13)
325
快速高溫製程處理機台
RTP
Rapid Thermal Processer
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P楊志忠- 林群涵( d99941010@ntu.edu.tw? 0932-767029)
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T<90min?? $=400
T>90min?? $=400+(T-90)/30*200
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T=600???? Q=600
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(14)反應離子蝕刻機(RIE)
Reavtive Ion Etching System
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P楊志忠- 謝劼( wale1105@gmail.com? 0919-789353)
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T<120min?? $=2400
T>120min?? $=2400+(T-120)*40
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T=1200?? Q=1200
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(15)
325
研磨機
Polishing Facility
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P楊志忠- 林群涵( d99941010@ntu.edu.tw? 0932-767029)
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T<90min?? $=600
T>90min?? $=600+(T-90)/60*200
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T=600???? Q=600
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兩段式旋轉塗佈機
Spin Coater
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p黃建璋- 蘇亮宇( d99941027@ntu.edu.tw? 0912-659070)
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FREE
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T=600???? Q=600
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紫外光臭氧清潔機
UV Ozone Cleaning System
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P黃建璋- 張鎮宇( r02941065@ntu.edu.tw 0975-137600)
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FREE
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T=600???? Q=600
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黃光室顯微鏡
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p黃建璋-?
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FREE
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FREE
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抽屜式UV燈箱
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P黃建璋-????????????????
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FREE
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FREE
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