| 機台代號與名稱與所在地 |
管理者
(所屬教授.姓名.email.手機) |
收費公式
(下表為原價 ps.電資學院半價) |
訓練T 檢定Q 收費標準
(下表為原價 ps.電資學院半價) |
| (1)電子束金屬鍍膜機 E-beam(gun) metal evaporator |
P吳志毅- 涂文勳(d97941003@ntu.edu.tw 0935159394)
張然凱 (d99941017@ntu.edu.tw 0973126081) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*24 |
T=1200
Q=1200 |
| (2)氧化物濺鍍機 Oxide Sputter |
P黃建璋- 紅彥任(red19870615@hotmail.com 0911283381)
林欣穎(r98941038@ntu.edu.tw 0921022809)
蘇亮宇(d99941027@ntu.edu.tw 0912659070) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*60 |
T=1200
Q=1200 |
(3)感應藕荷電漿反應式離子蝕刻機 Metal RIE
Metal Reactive Ion Etching system |
P楊志忠- 謝劼(wale1105@gmail.com 0919789353)
|
T<20min $=1500
T>20min $=1500+(T-20)*60 |
T=1200
Q=1200 |
| (4)真空金屬濺鍍機 Metal Sputter |
p吳志毅- 莊家霖(d95941010@ntu.edu.tw 0921460275)
p黃建璋- 蘇亮宇(d99941027@ntu.edu.tw 0912659070) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*60 |
T=1200
Q=1200 |
| (5)膜厚測定儀 Surface Profiler ( 廠牌α-step) |
p黃建璋- 尹煜峰( radiant1016@hotmail.com 0963250060 ) |
FREE |
T=600
Q=600 |
| (6)電子槍介電質鍍膜機 E-gun Dielectric evaporator |
p黃升龍- 呂韋辰(ajxyuftee@gmail.com 0923141006) |
T<90min $=2080
T>90min $=2080+(T-90)*24 |
T=1200
Q=1200 |
| (7)光罩對準機 Mask Aligner |
P黃建璋- 尹煜峰( radiant1016@hotmail.com 0963250060 )
黃莉琄(r99941011@ntu.edu.tw 0980086763) |
T<30min $=1200
T>30min $=1200+(T-30)*36 |
T=1200
Q=1200 |
| (8)快速升溫退火機RTA Rapid Thermal Annealing |
p吳志毅- 莊家霖(d95941010@ntu.edu.tw 0921460275) |
T<90min $=200
T>90min $=200+ 100/半小時 |
T=600
Q=600 |
(9)325半導體元件量測系統
Semiconductor Measurement System |
P楊志忠- 陳鴻祥 (chenhs@phys.sinica.edu.tw 0953837251) |
T<30min $=300
T>30min $=300+(T-30)*12 |
T=600
Q=600 |
| (10)325金線銲線機 wire bonder |
P楊志忠- 陳鴻祥 (chenhs@phys.sinica.edu.tw 0953837251) |
T<30min $=300
T>30min $=300+(T-30)*10 |
T=600
Q=600 |
| (11)325霍爾量測儀 Hall effect measurement system |
P楊志忠- 陳浩宗(handersonchen@gmail.com 0961400997) |
T<30min $=300
T>30min $=300+(T-30)*10 |
T=600
Q=600 |
| (12)325太陽能電池測試系統 solar simulator |
P楊志忠- 姚毓峰(r98941073@ntu.edu.tw 0939243272)
P楊志忠- 陳浩宗(handersonchen@gmail.com 0961400997) |
T<100min $=1200
T>100min $=1200+(T-100)*20 |
T=600
Q=600 |
(13)325快速高溫製程處理機台
RTP Rapid Thermal Proceding |
p吳志毅- 莊家霖(d95941010@ntu.edu.tw 0921460275)
P楊志忠- 陳鴻祥 (chenhs@phys.sinica.edu.tw 0953837251) |
T<90min $=400
T>90min $=400+ 200/半小時 |
T=600
Q=600 |
| 兩段式旋轉塗佈機 Spin Coater |
p黃建璋- 蘇亮宇(d99941027@ntu.edu.tw 0912659070) |
FREE |
T=600
Q=600 |
| 紫外光臭氧清潔機 UV Ozone Cleaning System |
p黃建璋- 王佑廷(A1324576899@yahoo.com.tw 0972043073) |
FREE |
T=600
Q=600 |
| 黃光室顯微鏡 |
p黃建璋- 徐紹舜(U940342@oz.nthu.edu.tw 0988004986) |
FREE |
FREE |