儀器設備(儀器設備總覽)

◎各相關單位之學員欲使用本實驗室之儀器設備時,須先接受儀器訓練,受訓合

格後俾能自行操作儀器。目前無塵室設有機台設備如下所示:

設備海報.JPG




◎儀器目前狀態
儀器名稱英文名稱目前狀態地點指導教授管理者訓練檢定預約
電子束金屬鍍膜機(E-gun)鍍膜機正常331室 游子軒
氧化物濺鍍機氧化物濺鍍機正常電機二館331室 周浚和
感應耦合電漿反應式離子蝕刻機ICP RIE正常電機二館331室 林群涵
真空金屬濺鍍機Sputter正常電機二館331室 周浚和
膜厚測定儀膜厚測定儀正常電機二館331室 江博舜
電子鎗介電質鍍膜機E-gum正常電機二館331室 許祐維
光罩對準機曝光機正常電機二館331室 彭俊諺
快速升溫退火機RTA正常電機二館331室 林韋丞
半導體元件量測系統半導體元件量測系統正常電機二館325室 林群涵
金線銲線機金線銲線機正常電機二館325室 林群涵
霍爾效應量測儀Hall Effect正常電機二館325室 姚毓峰
太陽能模擬器太陽能模擬器正常325實驗室 鄭宇
快速高溫退火爐(RTP)RTP正常電機二館325室 莊家霖
反應離子蝕刻機RIE正常331實驗室 林群涵
研磨機研磨機正常325實驗室 林群涵
兩段式旋轉塗佈機spin coater正常電機二館331室 李宇軒
電漿輔助化學氣相沉積系統pecvd正常331室 林群涵
鍍膜機2016鍍膜機2016正常325實驗室 林群涵
熱蒸鍍機熱蒸鍍機正常325實驗室 許凱傑