儀器設備(儀器設備總覽)

◎各相關單位之學員欲使用本實驗室之儀器設備時，須先接受儀器訓練，受訓合

格後俾能自行操作儀器。目前無塵室設有機台設備如下所示：

設備海報.JPG




◎儀器目前狀態
儀器名稱英文名稱目前狀態地點指導教授管理者訓練檢定預約
電子束金屬鍍膜機E-gun正常331室 王遠超,俞志強是是是
氧化物濺鍍機(轉陳奕君報廢)Oxide Sputter正常電機二館331室 張致綱是是是
感應耦合電漿反應式離子蝕刻機ICP RIE正常電機二館331室 張致綱,林宗賢是是是
真空金屬濺鍍機(停用)Metal Sputter(停用)正常電機二館331室 周浚和是是是
膜厚測定儀Surface Profiler正常電機二館331室 潘泳辰是是是
介電質電子槍鍍膜機(停用)Dielectric E-Gun(停用)正常電機二館331室 許祐維是是是
光罩對準機MJB4Mask Aligner-MJB4正常電機二館331室 李品佳,蔡旻珊是是是
快速升溫退火機RTA正常電機二館331室 黃立豪是是是
半導體元件量測系統(轉林建中)SEMI Analyzer(已拆) 331實驗室  是是是
金線銲線機(轉吳志毅)Wire Bonder正常電機二館325室 潘泳辰是是是
霍爾效應量測儀Hall Effect正常電機二館325室 姚毓峰是是是
太陽能模擬器Solar Simulator正常325實驗室 鄧韜是是是
快速高溫退火爐(RTP)RTP正常電機二館325室 呂毓豪是是是
反應離子蝕刻機RIE正常331實驗室 林群涵是是是
研磨機Polishing Facility正常325實驗室 鄧韜是是是
塗佈機2023spin-coater 2023正常電機二館331室 張致綱是是是
電漿輔助化學氣相沉積系統PECVD正常331室 呂毓豪是是是
R325_E-gun之熱蒸鍍機325 E-gun_Thermal正常325實驗室 黃湘婷是是是
熱蒸鍍機Thermal evaporator正常325實驗室 黃湘婷是是是
曝光機MA6Mask Aligner-MA6正常331實驗室 李品佳,蔡旻珊是是是
R325電子束金屬鍍膜機R325 E-gun正常R325 黃湘婷是是是
塗佈機2022spin-coater 2022正常電二R331 張致綱是是是
ICP-RIE(2)ICP-RIE(2)正常331實驗室 楊志忠是是是
RIE(2)RIE(2)正常331實驗室 楊志忠是是是