感應耦合電漿反應式離子蝕刻機 ICP RIE   原理介紹書   使用指導書 放置地點    電機二館331室 指導教授  管理員  張致綱,林宗賢 目前狀態 正常 預約狀態   照片   規格  感應耦合電漿反應式離子蝕刻機(Metal Reactive Ion Etching) 簡介  電漿耦合離子蝕刻機   訓練資訊        已合格 0 人   尚未合格0人 檢定資訊         已合格433人 尚未合格0人